RISS(한국교육학술정보원)
| No | 제목 / 내용 |
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BCl<sub>3</sub> 평판형 유도결합 플라즈마를 이용한 GaAs 건식식각 (Dry Etching of GaAs in a Planar Inductively Coupled BCl<sub>3</sub> Plasma) 임완태|백인규|정필구|이제원|조관식|이주인|조국산|Lim, Wan-tea|Baek, In-kyoo|Jung, Pil-gu|Lee, Je-won|Cho, Guan-Sik|Lee, Joo-In|Cho, Kuk-San|Pearton, S.J. ; 한국재료학회, 2003 [Vol:13, no.4 2003] SCOPUS,KCI등재 |
